7月3日,迪斯科(Disco)宣布,他们针对GaN单晶切片开发了一种激光切割优化工艺KABRA,不但可以增加晶圆切片数量,还可以大幅减少切片加工时间。
(资料图片仅供参考)
金刚石线切割一直是氮化镓晶锭切割的主要方法。然而,这种线切技术有几个问题,加工时间、切割材料损失,以及切割表面不平整,需要配套研磨工艺,所以导致出片数量少,造成晶圆成本高昂,阻碍了氮化镓功率器件的普及。
迪斯科表示,自从他们发布了用于SiC晶锭切割的KABRA工艺后,他们收到了许多制造商提出的氮化镓设备要求,为此他们继续研究和开发了针对氮化镓的优化KABRA工艺,这次发布新工艺是他们开发大规模生产技术的第一步。
据介绍,相较于线切割技术,他们的KABRA工艺具有出片数更多、加工时间更短等优势。
●切割出片数量方面,以2英寸、5mm的氮化镓晶锭为例,在切割指定厚度为400微米的衬底时,KABRA工艺可切11片,相比之下出片数量增加了37.5%。
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●加工时间方面,采用传统工艺,5mm厚度的氮化镓晶锭大约耗时大约25小时,而KABRA工艺只需3小时左右,相较之下单个晶锭的切割时间可以节省88%。同时还可以节省后续的研磨时间。
用于氮化镓晶圆大规模生产的KABRA工艺流程如下:
1.在晶锭内部进行激光辐照,形成KABRA层
2.剥离衬底片
3.将衬底片精磨至指定厚度
4.为下一次激光辐照研磨晶锭顶部表面
KABRA工艺流程
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